M-2便攜式四探針測試儀

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一·概述  M-2  便攜式四探針測試儀

M-2型數(shù)字式電阻率測試儀是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置，它可以測量片狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（也稱方塊電阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導(dǎo)體的低，中值電阻進行測量。

儀器由主機，測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結(jié)果用數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由數(shù)控恒流源，高分辨率ADC，嵌入式單片機系統(tǒng)組成，自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，定位準(zhǔn)確，游移率較小，壽命長。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合.

本儀器工作條件為：

溫度： 

相對濕度： 60% ~ 70%

工作室內(nèi)應(yīng)無強電磁場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源

二· 技術(shù)參數(shù)

1. 測量范圍：

電阻率：10 -2  ~ 102Ω-cm

方塊電阻：10 -1  ~ 103Ω/□

電阻：10 -3  ~ 9999Ω

2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸

直徑：15mm-100mm

長（或高）度：≤400mm

3. 測量方位：

軸向，徑向均可

4. 數(shù)字電壓表

量程：2V

誤差: ：± 0.1% FSB ± 2LSB

*大分辨力：10μA

精度： 18位ADC ( 5 1/2 位)

顯示：4位數(shù)字顯示，小數(shù)點自動顯示

5. 數(shù)控恒流源

電流輸出： 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進可調(diào)，系統(tǒng)自動調(diào)整。

誤差：± 0.1% FSB ± 0.5LSB

6. 四探針測試探頭：

探針間距： 1mm

探針機械游移率：± 1%

探針：碳化鎢，直徑0.5mm

7.電源： 

DC 4.5V ~8V

功耗： < 1W

電源適配器：輸入： 220V±10% 50Hz

輸出：DC5V ± 10%

8. 外形尺寸：

主機： 170mm (長) X 130mm (寬) X50mm(高)

M-2便攜式四探針測試儀M-2|M-2

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M-2便攜式四探針測試儀M-2|M-2

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